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            中国仪器网/ 行业应用/ 行业标准/ 表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

            GB/T 20176-2006 表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

            标准简介

            本标准详细说明了用标定的均匀掺杂物质确定单晶硅中硼的原子浓度的二次离子质谱方法。

            其他信息

            • 标准类型:
            • 标准属性:
            • 标准标号:
            • 起草人:
            • 起草单位:
            • 归口单位:
            • 提出部门:
            • 发布部门:国家标准化管理委员会

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